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石 墨
石墨制品是以等靜壓石墨為原材料,通過車床、銑床對原材料按技術圖紙進行機械加工,制成石墨熱場。石墨制品是單晶爐熱場的重要組成部分,在單晶硅生產中發揮著重要作用。
石墨特點
耐高溫性能好,導電性能強,結構設計合理,不易變形。
使用方法
在單晶爐或多晶硅鑄錠爐中,利用熱場對硅料進行加熱 和保溫,使硅料熔化,然后控制溫度使單晶或多晶定向 生長,從而形成單晶硅棒或多晶硅錠。
儲存條件
常溫保存,需干燥,無油污,外觀尺寸符合圖紙要求。
導流筒
加熱器
保溫桶
石墨舟
電極護套
堝 桿
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